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G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例

  • 發(fā)布日期:2024-08-22      瀏覽次數(shù):136
    • 一、G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例的工作原理

      氣動(dòng)隔膜閥主要由閥體、閥板、膜片和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)組成。當(dāng)空氣壓力作用于膜片時(shí),膜片會(huì)產(chǎn)生變形,從而帶動(dòng)閥板運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)開關(guān)動(dòng)作。氣動(dòng)隔膜閥的驅(qū)動(dòng)方式有氣開式和氣關(guān)式兩種,可以根據(jù)實(shí)際需求進(jìn)行選擇。由閥體、閥桿、絲母、閥頭、隔膜,瓷釉層、手輪等組成,隔膜采用F46材和橡膠墊制成。此閥能耐各種濃度酸、堿、鹽類、及有機(jī)物料的輸送,此閥除磷酸及磷性介質(zhì)、qing氟酸、鹽酸、氫氧化鈉、氫氧化鉀外,能耐各種酸堿鹽溶液及有機(jī)溶劑。搪瓷法蘭隔膜閥是將含硅量高的瓷釉涂于金屬表面,通過950℃搪燒,使瓷釉密著于金屬鐵胎表面制成。因此,它具有類似玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性和金屬強(qiáng)度的雙重優(yōu)點(diǎn),是一種優(yōu)良的耐腐蝕設(shè)備元件。隔膜閥是用閥腔內(nèi)的膜片作啟閉件封閉流道、截?cái)嗔黧w、并將閥體內(nèi)腔和閥蓋內(nèi)腔隔開的截止閥。膜片常用橡膠、塑料等彈性、耐腐蝕、非滲透性材料制成。

      閥體多用金屬襯里、無襯里或塑料制成。 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、密封和防腐性能好,流體阻力小。用于常壓、常溫、腐蝕性較強(qiáng)和含懸浮物質(zhì)的介質(zhì)。隔膜閥可分為手動(dòng)搪瓷法蘭隔膜閥、氣動(dòng)搪瓷法蘭隔膜閥、電動(dòng)搪瓷法蘭隔膜閥。是一種利用空氣動(dòng)力來驅(qū)動(dòng)的開關(guān),具有快速、安全、可靠、易于維護(hù)等優(yōu)點(diǎn),在半導(dǎo)體行業(yè)中被廣泛應(yīng)用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中。本文將詳細(xì)介紹氣動(dòng)隔膜閥的工作原理、特點(diǎn)及在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用。

      氣動(dòng)隔膜閥30.jpg

      二、G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例氣動(dòng)隔膜閥的特點(diǎn)
      1. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單:氣動(dòng)隔膜閥的結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,易于安裝和維護(hù)。
      2. 密封性好:膜片與閥板之間的密封采用軟密封結(jié)構(gòu),密封性能好,能夠有效地防止氣體和液體泄漏。
      3. 動(dòng)作靈敏:氣動(dòng)隔膜閥的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用氣動(dòng)方式,動(dòng)作靈敏,可以實(shí)現(xiàn)快速開關(guān)。
      4. 適用范圍廣:氣動(dòng)隔膜閥適用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中,具有廣泛的應(yīng)用范圍。
      5. 安全性高:氣動(dòng)隔膜閥采用膜片作為密封件,能夠有效地避免物料卡死或粘結(jié)現(xiàn)象,提高了設(shè)備的安全性。
      6. 維護(hù)方便:氣動(dòng)隔膜閥的維護(hù)非常方便,只需要定期清洗和更換膜片即可。

      襯搪瓷隔膜閥3.jpg

      G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例特點(diǎn):

      (1)流體阻力小。

      (2)能用于含硬質(zhì)懸浮物的介質(zhì);由于介質(zhì)只與閥體和隔膜接觸,所以無需填料函,不存在填料函泄漏問題,對(duì)閥桿部分無腐蝕可能。

      (3)適用于有腐蝕性、粘性、漿液介質(zhì)。

      (4)不能用于壓力較高的場(chǎng)合。

      G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例技術(shù)規(guī)范:

      1、耐酸性:

      對(duì)各種有機(jī)酸、無機(jī)酸、有機(jī)溶劑均有較好的抗蝕性。搪玻璃試樣置于20%HCI溶液中煮沸48h,腐蝕速率為0.9lg/m2.d(優(yōu)等品指標(biāo)為1.0g/m2.d)。

      2、耐堿性:

      搪玻璃對(duì)堿性溶液抗蝕性較酸溶液差。搪玻璃試樣置于1N氫氧化鈉溶液腐蝕,試驗(yàn)溫度80℃時(shí)間24h。腐蝕速率為6.76g/m2.d(優(yōu)等品指標(biāo)為7.0g/m2.d)。

      3、操作溫度:

      搪玻璃設(shè)備加熱和冷卻時(shí),應(yīng)緩慢進(jìn)行。搪玻璃設(shè)備使用溫度為0-200℃,耐溫急變性≥200℃。

      4、瓷層厚度:

      玻璃設(shè)備的瓷層厚度0.8-2.0mm,搪玻璃設(shè)備附件的瓷層厚度0.6-1.8mm。

      5、耐壓電:

      搪玻璃具有良好的絕緣性,當(dāng)搪玻璃在規(guī)定厚度內(nèi)用20KV高頻電火花檢查瓷層時(shí),高頻電火花不能擊穿瓷層。

      6、耐沖擊性:

      玻璃層的內(nèi)應(yīng)力越小,彈性越好,硬度越大,抗彎抗壓強(qiáng)度越高,則耐沖擊就越好。玻璃層在規(guī)定厚度內(nèi),用直徑30mm,重量112g鋼球沖擊時(shí),其沖擊功為272×10-3J(優(yōu)等品指標(biāo)為260×10-3J)。

      三、G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

      襯搪瓷隔膜閥1.jpg

      在半導(dǎo)體行業(yè)中,氣動(dòng)隔膜閥被廣泛應(yīng)用于各種工藝氣體、液體、真空等管路中,以下是幾個(gè)典型的應(yīng)用場(chǎng)景:搪玻璃閥門及管件廣泛適用于化工、醫(yī)藥、染料、農(nóng)藥、有機(jī)合成、石油、食品制造和國防工業(yè)等工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中的反應(yīng)、蒸發(fā)、濃縮、合成、萃取、聚合、皂化、礦化、氯化、硝化等,以代替昂貴的不銹鋼和有色金屬。

      1. 工藝氣體管路:在半導(dǎo)體制造過程中,需要使用各種工藝氣體,如氮?dú)?、氧氣、氫氣等。氣?dòng)隔膜閥能夠快速、準(zhǔn)確地控制這些氣體的流量和壓力,為生產(chǎn)提供穩(wěn)定的工藝環(huán)境。
      2. 液體管路:在半導(dǎo)體制造中,各種化學(xué)試劑和超純水需要通過管道進(jìn)行輸送。氣動(dòng)隔膜閥可以控制液體的流量和壓力,確保輸送過程的穩(wěn)定性和安全性。
      3. 真空管路:半導(dǎo)體制造過程中需要進(jìn)行真空處理,如薄膜沉積、干法刻蝕等。氣動(dòng)隔膜閥可以在真空系統(tǒng)中起到開關(guān)和調(diào)節(jié)作用,保證設(shè)備的正常運(yùn)行。
      4. 尾氣處理系統(tǒng):在半導(dǎo)體制造過程中會(huì)產(chǎn)生各種廢氣,如酸氣、有機(jī)廢氣等。氣動(dòng)隔膜閥可以控制尾氣處理系統(tǒng)的閥門開關(guān),實(shí)現(xiàn)廢氣的收集和處理。
      5. 晶圓傳送系統(tǒng):半導(dǎo)體制造中的晶圓需要經(jīng)過多個(gè)工藝步驟之間的傳遞。氣動(dòng)隔膜閥可以控制晶圓傳送系統(tǒng)的氣體管道,確保晶圓在傳送過程中的穩(wěn)定性和清潔度。

      襯搪瓷隔膜閥2.jpg

      G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例主要性能規(guī)范

      性能規(guī)范Specification設(shè)計(jì)規(guī)范Design standard結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度 Structure length連接法蘭 connect flange試驗(yàn)與檢驗(yàn)Experiment & inspection
      GB/T 12239GB/T 12221JB/T; JB/T79GB/T 13927

      主要零件材料

      零件名詞 Name灰鑄鐵Gray Cast iron鑄鋼 cast steel
      閥體 BodyHT250+搪瓷HT250+enamelWCB+搪瓷 WCB+ enamel
      閥瓣/閥桿 Disc/stem351Cr13
      隔膜 diaphragmPEP(F46)/CR(氯丁橡膠)

      G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例主要連接及外形尺寸:

      氣動(dòng)隔膜閥20.jpg

      公稱通徑DN

      主要連接尺寸及外形尺寸

      孔數(shù)Z

      孔徑b

      L

      D

      D1

      D2

      H

      b1

      D0

      25

      145

      115

      85

      65

      121

      16

      120

      4

      14

      32

      160

      135

      100

      75

      130

      16

      125

      4

      14

      40

      180

      145

      110

      85

      165

      18

      140

      4

      18

      50

      210

      160

      125

      100

      230

      20

      160

      4

      18

      65

      250

      180

      145

      120

      240

      20

      200

      4

      18

      80

      300

      195

      160

      135

      256

      22

      200

      4

      18

      100

      350

      215

      180

      155

      285

      22

      240

      8

      18

      125

      400

      245

      210

      185

      320

      23

      280

      8

      18

      150

      460

      280

      240

      210

      464

      24

      320

      8

      23

      G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例技術(shù)參數(shù):

      設(shè)計(jì)與制造:GB12239

      結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度:GB12221、JB1688

      法蘭連接尺寸:GB4216、JB78

      本閥于工作溫度≤100℃的般腐蝕性介質(zhì)管路上作啟閉用。

      搪瓷表面十分光滑和具有隔離金屬離子的特性

      具有良好的耐磨性與電絕緣性

      氣動(dòng)隔膜閥21.jpg

      G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例襯里材料和適用介質(zhì):

      襯里材料(代號(hào))

      使用溫度(℃)

      適用介質(zhì)

      硬橡膠(NR)

      -10~85

      鹽酸、30%硫酸、50%qing氟酸、80%磷酸、堿、鹽類、鍍金屬溶液、氫氧化鈉、氫氧化鉀、中性鹽水溶液、10%次氯酸鈉、溫lǜ氣、氨氣、大部分醇類有機(jī)酸及醛類等

      軟橡膠(BR)

      -10~85

      水泥、粘土、煤渣灰、顆粒狀化肥及磨損性較強(qiáng)的固態(tài)流體、各種濃度稠粘液等

      氟橡膠(CR)

      -10~85

      動(dòng)植物油類、潤(rùn)滑劑及PH值變化范圍很大的腐蝕性泥漿等

      丁基膠(HR)

      -10~120

      有機(jī)酸、堿和氫氧化合物、無機(jī)鹽及無機(jī)酸、元素氣體醇類、醛類、醚類、酮類等

      聚偏氟乙丙烯塑料

      (FEP)

      ≤150

      除熔融堿金屬、元素氟及芳香烴類外的鹽酸、硫酸、王水、有機(jī)酸、強(qiáng)氧化劑、濃稀酸交替、酸堿交替和各種有機(jī)溶劑等

      聚偏氟乙烯塑料

      (PVDF)

      ≤100


      聚四氟乙烯和乙烯共聚物

      (ETFE)

      ≤120


      可熔性聚四氟乙烯塑料

      (PFA)

      ≤180


      聚三氟氯乙烯塑料

      (PCTFE)

      ≤120


      搪瓷

      ≤100

      切忌溫差急變

      除qing氟酸、濃磷酸及強(qiáng)堿外的其它低度腐蝕性介質(zhì)

      鑄鐵無襯里

      使用溫度按隔膜閥

      材料定

      非腐蝕性介質(zhì)

      不銹鋼無襯里

      一般腐蝕性介質(zhì)


      G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例安裝注意事項(xiàng):

      1、搬運(yùn):在搬運(yùn)時(shí)切記勿碰撞勿拋扔;

      2、安裝:在安裝的過程中不得借用其它撬桿或錘子,避免震動(dòng)或碰撞損壞搪瓷部位;

      3、安裝前對(duì)閥門或管件的內(nèi)腔進(jìn)行檢查避免臟污卡死閥門影響正常使用,或損壞介質(zhì)。

      搪玻璃隔膜閥.jpg

      G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例維護(hù)保養(yǎng):

      1、閥門及管件在未安裝情況下需存放在干燥、通風(fēng)地方,避免暴曬和潮濕,經(jīng)常不安裝的需要對(duì)閥門清潔保養(yǎng);

      2、安裝在管道或設(shè)備上之后,應(yīng)檢查填料函的螺栓是否松動(dòng),有螺桿的閥門應(yīng)對(duì)螺桿部位作潤(rùn)滑處理;

      3、對(duì)于安裝在室外的設(shè)備應(yīng)做好防水、防潮、防碰撞的準(zhǔn)備工作(特別對(duì)于裝有電氣裝置的設(shè)備)。

      氣動(dòng)隔膜閥29.jpg

      四、G641TC氣動(dòng)搪玻璃隔膜閥操作應(yīng)用案例總結(jié)
      氣動(dòng)隔膜閥作為一種快速、安全、可靠、易于維護(hù)的開關(guān)設(shè)備,在半導(dǎo)體行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、密封性好、動(dòng)作靈敏、適用范圍廣、安全性高和維護(hù)方便等特點(diǎn),為半導(dǎo)體制造過程中的工藝控制和設(shè)備安全提供了有力保障。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,氣動(dòng)隔膜閥在未來仍將具有廣泛的應(yīng)用前景。